[证券市场线]东方晶源微（北京）申请多通道探测器、探测器成像系统以及探测器成像方法专利，能够有效区分不同角度的二次电子所携带的形貌信息，提高二次电子的成像质量

2024年8月21日消息，天眼查知識產權信息顯示，東方晶源微電子科技（北京）股份有限公司申請一項名爲“多通道探測器、探測器成像系統以及探測器成像方法“，公開號 CN202410456158.3，申請日期爲 2024 年 4 月。

專利摘要顯示，本申請提供一種多通道探測器、探測器成像系統以及探測器成像方法，該多通道探測器包括：包括閃爍體模塊、多箇光電組件以及信號處理模塊；閃爍體模塊包括多箇探測區，探測區設置爲在上電時用於接收樣品表面反射的預設角度範圍內的二次電子，以生成對應的探測光信號；每個光電組件用於接收對應的一箇探測區生成的所述探測光信號，並將探測光信號轉換爲初始探測電信號；信號處理模塊與每個光電組件相連，用於根據使能信號和控制信號對接收到的初始探測電信號進行信號處理，以得到目標探測電信號。如此，可以能夠有效區分不同角度的二次電子所攜帶的形貌信息，提高二次電子的成像質量，克服單通道探測器成像的缺陷。